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前级泵是为了降低罗茨泵的排出压力

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点击次数:  更新时间:2017-03-15 09:36:32  【打印此页】  【关闭

罗茨真空泵不能独自使用,要配上前级泵构成机组,运用前级泵是为了下降罗茨泵的排出压力,因为真空泵的压缩比是有限的,所以挑选前级真空泵的抽速是主要的,真空泵的最大压缩比是随排出压力而改变的,在高排出压力下,最大压缩比最多大31,而最高压缩比是在排出压力为110mbar之间(1 mbar=0.75Torr)可达50:1,乃至更高些。

因而,挑选前级泵的抽速,要根据肯富来真空泵的长时间作业压力范围思考。

例如有一系统用罗茨真空泵机组抽气,请求在1 mbar进口压力时有600/秒的抽速,并长时间作业,问应挑选多大抽速的前级泵。先假定用30/秒的前级泵时,压缩比K=60030=20得出K=20时最大排出压力为30 mbar

由此得出,当选用30/秒前级泵时,在进口压力低于1.5 mbar以下作业是可行的,但高于1.5 mbar进口压力作业时就选用大一些前级泵了。该例中,作业真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30/秒的前级泵可以满意上述真空系统的抽气请求。

首先应当思考的是,对预抽时间的请求疑问,假设正常作业时间远比预抽时间长,可选较小的前级泵;假设真空室较大,而且请求很快预抽,就要用较大的前级泵,有时为了非常好表现设备的功率,机组装有较大的预抽泵,在正常作业后停掉它,而用较小的前级泵保持,这样做是为了节省功率。当选用往复式或液环式粗真空泵作为真空泵的前级泵时,前级泵的抽速通常为罗茨真空泵的1/2-1/4,不能太大,不然将使压缩比过大,形成真空泵的排气温度高而不能正常作业。

选用前级泵时还有必要思考被抽气体中是不是有腐蚀性介质,是不是富含可凝性气体,是很多的仍是微量的。假设富含腐蚀性气体,就不能选用油封机械泵,油封机械泵还不适合抽除富含很多可凝性蒸汽的气体,不然将会使密封液很快乳化,抽除富含微量可凝性蒸汽的气体时,也有必要选用带有气镇设备的油封机械泵作为前级泵。

对真空泵机组的极限压力的请求,也是挑选前级泵的有必要思考的,对极限真空度请求较高(1X10-3Pa1X10-2 Pa压力)通常选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度请求在(1X10-2 Pa1X10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵,极限真空度请求在1331333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。

为了取得在低进口压力(1~100pa)时的高的抽气速率,可用一台真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵构成的三级或四级机组,此刻罗茨真空泵之间的抽速比通常在2~5之间。



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