肯富来水泵
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肯富来真空泵污染的形成及其影响

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点击次数:  更新时间:2015-03-17 08:49:49  【打印此页】  【关闭
       肯富来真空泵装置由许多不同的零件组成,它们都是经过各种机械加工完成的,如车、铣、刨、磨、锉、焊接等。这样,零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发,影响真空设备的极限真空。此外,污染物在大气压下吸附了大量的气体,在真空环境中,这些气体也要被释放出来。构成了限制真空设备极限真空的因素。为此,零件组装前必须清除掉污染物。
       真空装置使用过程中,零件还会受到污染。这种污染与使用条件及真空泵有关。如真空干燥系统,经常使用后会受到蒸发出来的物质的污染;真空镀膜机的内壁会被蒸镀材料污染;
离子束刻蚀设备的内壁会被工件溅射的溅散物污染;真空中电子枪的灯丝,由于高温蒸发会使其附近表面形成金属膜;规管灯丝在高温下蒸发,使陶瓷绝缘子上形成薄膜,破坏绝缘强度,影响测量的准确性。真空系统中的机械泵油和扩散泵油更是污染源,设备长期工作后会使设备内部形成明显的油膜。这些污染同样会影响设备的性能,应该注意随时清除。
       超高真空系统中,清洁处理更为重要。良好的清洁处理工艺,可以使材料放气率降低几个数量级。如不锈钢长期暴露于大气后,不进行任何处理,抽气1h后的出气率为2.7x10-1Pa•L/(s•m2),清除油污后抽气4h,可降到1.3x10-3Pa•L/(s•m2)。在250℃下烘烤15h,出气率进一步降到1.3x10-6Pa•L/(s•m2)。好的清洁处理工艺,可以提高设备的极限真空。
 
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