真空泵

工作范围(托)

真空泵

工作范围(托)

旋片真空泵

760~5×10^-4

往复真空泵

760~10^-2

滑阀真空泵

760~5×10^-3　　

吸附泵

760~10^-4

油增压泵

10^-1~10^-4

溅射离子泵

10^-4~10^-10

罗茨真空泵

10^-1~10^-4　　

钛升华泵

10^-3~10^-10

油扩散泵

10^-3~5×10^-7　　

分子泵

10^-3~10^-10

水环真空泵

760~25

低温泵

10^-3~10^-10