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肯富来离子泵与分子泵的联系与区别

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点击次数:  更新时间:2015-01-27 10:01:27  【打印此页】  【关闭
肯富来的分子泵与离子泵的联系与区别:
联系:分子泵与离子泵都是真空泵。
区别:分子泵与离子泵的工作原理不同:       
     离子泵的工作原理:离子泵是由上下两块平行的板状钛阴极以及位于两个阴极之间的栅状不锈钢阳极构成。在两个钛阴极外部是两张平行的板状永久磁铁,它们形成的磁场垂直穿过泵体。工作时,阴极表面溢出的自由电子在电磁场的作用下沿螺旋线轨迹飞向阳极。电子在飞行过程中与气体分子发生碰撞并产生正离子和二次电子。二次电子沿着新的螺旋线轨迹继续飞向阳极,并在飞行的过程中撞击其他气体分子;正离子则在电场力作用下加速,并最终撞击在阴极表面。由于正离子具有较大动能,他在阴极表面的撞击引起阴极表面钛微粒子四散飞溅。一部分溅射出去的钛微粒子在飞行过程中遇到活泼气体分子并与之发生化学反应形成氧化钛、氮化钛等固体物质,降落并逐渐堆积在泵腔内,从而将这些气体分子固定住;另一些钛微粒子在飞行过程中没有与任何气体分子发生化学反应,又重新落在阴极或者阳极表面。另一方面,正离子在飞行过程中也会撞击到一些其他的气体原子,当它与一些较轻的气体原子发生碰撞时发生能量交换,从而使这些轻原子获得了较高的速度而可以射入阴极材料内部,随着阴极材料表层所含这类气体原子浓度的增加,部分气体原子向阴极材料深处扩散,从而使其被牢牢地锁定。
     分子泵的工作原理 :分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
  这种泵具体可分为:
  1)牵引分子泵 气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
  2)涡轮分子泵 靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气的。这种泵通常在分子流状态下工作。
       3)复合分子泵 它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
如有其它真空泵问题,您可以联系我们,佛山肯富来将竭诚为您服务,谢谢!
 
 

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